潔凈室的氣流是影響潔凈室性能的重要因素。一般潔凈室的氣流速度在0.25-0.5m/s之間，屬于微風(fēng)區(qū)，容易受到人和機器動作的干擾。雖然提高風(fēng)速可以抑制這種擾動的影響，保持潔凈度，但風(fēng)速的提高會影響運行費用的增加。因此，當(dāng)達到要求的潔凈度水平時，應(yīng)以最合適的風(fēng)速向以下位置送風(fēng)

另一方面，為了達到潔凈室潔凈度的穩(wěn)定效果，保持均勻的氣流也是一個重要因素。如果不能保持均勻的氣流，就說明風(fēng)速不一樣，特別是在墻面上，氣流會沿著墻面打旋，這個時候要達到高潔凈度其實是很難的。

為了在垂直層流方向上保持均勻的氣流，有必要：(a)吹送空氣的速度不應(yīng)有差異；(b)地板回風(fēng)板吸力面的風(fēng)速不得不同速。速度過低或過高(0.2m/s、0.7m/s)時會產(chǎn)生渦流，而0.5m/s時氣流相對均勻(21世紀80、90年代)，一般潔凈室的風(fēng)速在0.25-0.5m/s之間。

影響潔凈室氣流的因素很多，如工藝設(shè)備、人員、潔凈室裝配材料、照明燈具等。同時，還應(yīng)考慮生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點。

一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備表面的氣流分流點應(yīng)位于潔凈室空間與隔板距離的2/3處，使氣流從工藝區(qū)內(nèi)部流向操作區(qū)，帶走粉塵。如果分流點布置在工藝區(qū)的前面，就會變成氣流分流不當(dāng)。此時大部分氣流會流向工藝區(qū)后面，操作者操作產(chǎn)生的粉塵會被帶到設(shè)備后面，從而污染工作臺，成品率必然下降。

房間內(nèi)無塵工作臺等障礙物會在連接處產(chǎn)生渦流現(xiàn)象，周圍的潔凈度會相對較差。在工作臺上鉆回氣孔將渦流現(xiàn)象降到最低。組裝材料的選擇是否合適，設(shè)備的布局是否完善，也是氣流是否成為渦流現(xiàn)象的重要因素。